发明专利已授权

一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置及方法

📄 申请号：CN202010274062.7 📄 发布日：2026/06/04

著录项目信息

申请日

2020-04-09

公开号

CN111496384B

公开日

2024-11-05

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_352

IPC 分类号

B23K26_352

技术画像

所属领域

微纳加工微纳加工超精密加工特种加工

应用场景

光学防反射, 微流控芯片, 生物医学传感, 显示器件, 精密仪器

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摘要

本发明提供了一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置及方法，脆性材料基底的上表面镀有金属薄膜，所述金属薄膜的上面铺设单层致密排布的微球，所述脆性材料基底置于一工作台上；激光器、扩束镜、光束整型器沿水平方向依次设置，扫描振镜、聚光透镜集工作台沿竖直方向从上至下依次设置；激光器产生的激光依次通过扩束镜、光束整型器后经由反射镜反射到达扫描振镜以及聚焦透镜，再辐照到铺设有微球的镀有金属薄膜的脆性材料基底的上表面；计算机连接所述激光器集扫描振镜，所述计算机控制激光器产生的激光束的脉冲能量和重复频率。应用本技术方案在脆性材料基底表面铺设单层致密排布的微球可以实现大面积纳米孔阵列的加工。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种透明硬脆材料表面加工亲水结构的装置及加工方法

当前第 / 件

电场辅助激光诱导等离子体加工透明硬脆材料装置及方法

同领域国内专利 · IPC: (B23K26_352)

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