实用新型已授权

一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置

📄 申请号：CN202520542044.0 📄 发布日：2026/05/12

著录项目信息

申请日

2025-03-26

公开号

CN223974194U

公开日

2026-03-06

申请人

韩明琦

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_44

IPC 分类号

C23C16_44 , C23C16_26 ,

技术画像

所属领域

薄膜沉积设备薄膜沉积设备纳米复合材料石墨烯材料

应用场景

新材料制备, 薄膜沉积, 半导体制造, 光学镀膜, 能源器件

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摘要

本实用新型公开了一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置，包括圆柱形体、多通道气体分配器、可旋转基材托盘、气溶胶喷射模块及磁控溅射组件，所述圆柱形体的内部为真空腔体，所述多通道气体分配器通过法兰盘固定安装在圆柱形体的顶端，所述圆柱形体的底端通过法兰盘固定安装有真空泵，所述圆柱形体的内部真空腔体中间处固定安装有隔板，所述隔板上设置有可旋转基材托盘，所述气溶胶喷射模块连接于多通道气体分配器，所述磁控溅射组件安装设置在圆柱形体的内部侧壁上；该石墨烯纳米复合薄膜沉积装置具有能够结合基材旋转实现薄膜均匀沉积，模块化设计支持单层或交替多层复合薄膜制备，‌柔性基材适配，高效真空系统，减少能量损耗等特点‌。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种金属圆柱零件表面压花装置

当前第 / 件

一种自动生产线用气动力矩扳手

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_44)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

议价

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