发明专利 已授权

一种超快激光的加工系统控制方法

📄 申请号:CN202411824881.9 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2024-12-12
公开号
CN119282371B
公开日
2025-03-21
申请人
泉州信息工程学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密加工, 微纳加工, 工业自动化, 材料加工, 半导体制造

摘要

本发明涉及激光加工的技术领域,具体涉及一种超快激光的加工系统控制方法。本发明的技术方案基于激光器、声光偏转组件、振镜组件、场镜和控制器构建超快激光的加工系统,激光器用于在加工任务发射脉冲宽度低于皮秒量级的激光束;声光偏转组件用于在第一模式执行激光束的加工路径调制,并经场镜对外输出完成调制的激光束;振镜组件用于在第二模式基于声光偏转组件共同执行激光束的加工路径调制,并经场镜对外输出完成调制的激光束。该方案可以控制加工系统进入不同的模式,经声光偏转组件补偿振镜组件执行加工路径调制的响应迟滞,使激光束的加工路径调制满足精度和效率的相应要求,减少了超快激光在加工过程中引起的局部烧蚀缺陷。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:66 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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