发明专利 已授权

基于金属腔表面等离激元激光可控输出装置及其输出方法

📄 申请号:CN202111562348.6 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2021-12-20
公开号
CN114336280B
公开日
2024-03-12
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

光通信, 光学传感, 激光加工, 精密测量, 科研仪器

摘要

本发明公开了基于金属腔表面等离激元激光可控输出装置及其输出方法,输出装置包括表面等离激元激光器及激光输出波导;表面等离激元激光器包括金属腔和表面等离激元波导;金属腔包括第一腔镜和第二腔镜,第一腔镜开设输出窗口;表面等离激元波导包括透明衬底层、位于透明衬底层上的增益介质层、位于增益介质层上的绝缘介质层和位于绝缘介质层上的金属膜层;金属腔和表面等离激元波导是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元激光器中,且刻蚀深度延伸至透明衬底层;激光输出波导和第一腔镜的输出窗口相连,通过输出窗口输出激光及控制激光能量,通过激光输出波导控制激光传输方向。它具有如下优点:不仅能输出激光而且激光输出的能量及方向可控。

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图2
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