发明专利 已授权

利用双金属合金靶材激光诱导等离子体加工装置及方法

📄 申请号:CN202111675160.2 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2021-12-31
公开号
CN114289884B
公开日
2023-05-05
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

材料表面处理, 薄膜制备, 精密加工, 微纳加工, 激光制造

摘要

本发明公开了利用双金属合金靶材激光诱导等离子体加工装置及方法,加工装置包括激光器、透镜组件、双金属合金靶材、工作台和可升降夹具;该透明工件和双金属合金靶材上下平隔布置;该激光器发出的激光束经透镜组件、透明工件辐射聚焦在双金属合金靶材上并与双金属合金靶材发生相互作用以产生等离子体,该双金属合金靶材包含惰性金属和活性金属,惰性金属对应的等离子体通过物理过程对透明工件材料进行刻蚀加工,活性金属对应的等离子体通过物理过程和化学反应对透明工件材料进行刻蚀加工。它具有如下优点:在微纳制造领域应用前景巨大,能实现工业上高精密加工质量需求,能解决透明硬脆材料异形工件加工难题。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:29 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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