发明专利已授权

一种半导体检测设备智能标定方法及系统

Name: 一种半导体检测设备智能标定方法及系统
Brand: 北京嘉海鼎盛科技有限公司
SKU: 2025101523885
Availability: InStock

📄 申请号：CN202510152388.5 📄 发布日：2026/04/09

著录项目信息

申请日

2025-02-12

公开号

CN119619175B

公开日

2025-05-13

申请人

北京嘉海鼎盛科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_95

IPC 分类号

G01N21_95 , H01L21_66 ,

技术画像

所属领域

检测设备半导体检测技术自动标定系统测试测量检测设备

应用场景

半导体制造, 晶圆检测, 设备校准, 集成电路检测, 质量控制

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摘要

本发明涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种半导体检测设备智能标定方法及系统，包括：分析不同半导体设备维度类型之间晶圆检测数据的相关稳定情况，得到局部精度控制需求度；基于局部精度控制需求度，综合分析同一晶圆检测数据在所有半导体晶圆整体内的有效信息含量，得到半导体精度需求度；分析每个半导体设备维度类型下晶圆检测数据整体的变化情况，结合晶圆检测数据的半导体精度需求度以及晶圆检测数据的信噪比，得到半导体控制优选程度；综合半导体控制优选程度，自适应调整晶圆检测数据，进行半导体检测设备的智能标定。本发明提高了半导体检测设备检测晶圆时检测结果的准确性，使半导体检测设备的标定过程更加智能。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN119619175B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：116 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

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