发明专利已授权

一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备

📄 申请号：CN202410789033.2 📄 发布日：2026/02/04

著录项目信息

申请日

2024-06-19

公开号

CN118357594A

公开日

2024-07-19

申请人

安徽建筑大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_362

IPC 分类号

B23K26_362 , B01D46_12 , B23K26_70 ,

技术画像

所属领域

激光加工激光加工刻蚀技术除尘设备

应用场景

飞秒激光微加工, 精密制造, 半导体制造, 材料表面处理, 工业除尘

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摘要

本发明公开了一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，涉及飞秒激光加工技术领域，包括加工平台，所述加工平台顶部外壁的一侧设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶部设有安装架，所述安装架上连接有振镜，所述加工平台顶部外壁的中央位置设有刻片本体，所述刻片本体位于所述振镜的正下方，还包括：旋转驱动机构：所述旋转驱动机构位于所述加工平台的正下方；抽吸机构：所述抽吸机构包括设置在加工平台外侧壁的环槽。本发明提供的用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备具有降低过滤和收集压力、提高过滤和吸附充分性以及提高加工效率的技术效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

多管径外壁爬行装置、系统和方法

当前第 / 件

带有旋转钻孔的单U型热激活建筑围护结构及运行控制方法

同领域国内专利 · IPC: (B23K26_362)

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