发明专利已授权

一种等离子体电子密度发射光谱诊断方法及系统

📄 申请号：CN202310811424.5 📄 发布日：2026/08/13

著录项目信息

申请日

2023-07-03

公开号

CN117030683A

公开日

2023-11-10

申请人

盐城工学院; 盐城工学院技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_73

IPC 分类号

G01N21_73 , G06F30_20 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

等离子体工艺监测, 半导体制造, 材料表面处理, 科研实验, 等离子体设备研发

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摘要

本发明提供一种等离子体电子密度发射光谱诊断方法及系统，其中方法包括：仿真计算出不同电子密度和温度参数对应的原子特征谱线数据集，并按照设定的比例分为训练集和验证集；构建等离子体发射光谱诊断模型，利用训练集对等离子体发射光谱诊断模型进行训练；利用验证集对训练完成的等离子体发射光谱诊断模型进行超参数调优；利用发射光谱采集系统获取待诊断的等离子体的原子特征谱线；利用最优的等离子体发射光谱诊断模型，对待诊断的等离子体的原子特征谱线进行诊断。本发明采用了随机森林算法构建的等离子体发射光谱诊断模型，具有良好的鲁棒性和抗噪性，减小电子密度预测结果与真实结果之间的均方误差,提高了预测结果的准确性和诊断速度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250912

?? 专利权的转移：

20240123

✅ 授权

20231128

?? 实质审查的生效：

20231110

📄 公开

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