发明专利已授权

一种光伏TOPCon电池片基片表面薄膜沉积装置及工艺

📄 申请号：CN202311091766.0 📄 发布日：2026/03/27

著录项目信息

申请日

2023-08-29

公开号

CN117127170B

公开日

2024-10-22

申请人

浙江东渐产业控股集团有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_455

IPC 分类号

C23C16_455 , C23C16_44 , C23C16_24 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

光伏电池制造光伏电池制造薄膜沉积技术半导体制造设备

应用场景

光伏电池生产, TOPCon电池制备, 晶硅电池镀膜, 太阳能电池制造

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摘要

本发明中公开了一种光伏TOPCon电池片基片表面薄膜沉积装置及工艺，涉及光伏TOPCon电池片基片加工技术领域；具体包括壳体，所述壳体的内部设置有沉积腔，且沉积腔的外侧设置有控制薄膜沉积环境温度的加热环，所述壳体的顶部安装有端盖，且壳体的侧面安装有控制端盖开合的开合盖组件，所述端盖的底部设置有环形分布的换气腔，且端盖的顶部安装有控制换气的电磁阀。本发明中在扰流桨板和隔板的相对运行作用下，使得两股交汇气相呈螺旋状向上运动，气相均匀的击穿基片表面的氧化膜层，且多股受到加热环加热的气相同步、分散的进入装置，避免对基片表面造成热浪冲击形成沉积膜富集现象，进一步提高基片表面沉积薄膜厚度分布的均匀性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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¥18000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：85 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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