发明专利已授权

一种高韧性金刚石膜的制备方法

Name: 一种高韧性金刚石膜的制备方法
Brand: 武汉工程大学
SKU: 2022107306120
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210730612.0 📄 发布日：2026/03/17

著录项目信息

申请日

2022-06-24

公开号

CN115261817B

公开日

2023-11-28

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_44 ,

技术画像

所属领域

金刚石膜金刚石膜薄膜制备超硬材料

应用场景

刀具涂层, 磨具制造, 电子器件散热, 光学窗口, 耐磨零件

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摘要

本发明公开了一种高韧性金刚石膜的制备方法，属于薄膜技术领域。其制备为：在热丝化学气相沉积装置中通入碳源，沉积得到金刚石；同时在热丝化学气相沉积工艺沉积金刚石过程中，周期性的通入硼烷或硅烷，与碳源反应得到碳化硼或碳化硅纳米颗粒，被生长的金刚石包裹，最终形成镶嵌有碳化硼或碳化硅纳米颗粒的金刚石膜。本发明所得金刚石膜中镶嵌的碳化硼或碳化硅颗粒能实现金刚石的纳米颗粒增韧；同时金刚石膜生长面上碳化硼(或碳化硅)颗粒的沉积，扰乱了金刚石晶粒的连续生长，加速孪晶的形成，实现金刚石的孪晶增韧。该金刚石膜通过颗粒增韧和孪晶增韧共同作用，实现了金刚石断裂韧性显著提高。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种焊接强度高的金刚石膜及其制备方法和应用

当前第 / 件

基于反谐振与多模干涉的光纤曲率和温度同时测量的装置

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