发明专利 已授权

基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法

📄 申请号:CN201711353968.2 📄 发布日:2026/09/28

著录项目信息

申请日
2017-12-15
公开号
CN108070842A
公开日
2018-05-25
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

超硬材料, 光学窗口, 半导体散热, 精密加工, 珠宝首饰

摘要

本发明公开了一种基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法,该方法包含以下步骤:第一步:提供生产单晶金刚石的合成装置和固定样品台;第二步:将成捆头发丝插入固定样品台上的插口中,将固定样品台放入反应腔内,向腔体内通入氢气形成等离子体,利用等离子体对头发丝进行灼烧,使其气化;第三步,将气化的气体收集并纯化后通入另一反应腔内;第四步:沉积单晶金刚石完成。本发明利用微波等离子体化学气相沉积法高温灼烧头发丝使其气化,利用其碳源生产单晶金刚石,并获得了质量较好的单晶金刚石。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20191217
✅ 授权
20180619
?? 实质审查的生效 :
20180525
📄 公开

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