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发明专利
已授权
图像传感器及其形成方法
📄 申请号:CN201810379304.1
📄 发布日:2025/09/08
著录项目信息
申请日
2018-04-25
公开号
CN108550594B
公开日
2021-01-22
申请人
淮安西德工业设计有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L27_146
IPC 分类号
H01L27_146
,
H01L21_70
,
技术画像
所属领域
半导体器件
半导体器件
集成电路制造
图像传感器
应用场景
消费电子, 安防监控, 医疗成像, 自动驾驶, 工业视觉检测
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摘要
一种图像传感器及其形成方法,其中形成方法包括:提供基底,所述基底表面具有保护层,所述基底包括光电区;形成所述保护层之后,在所述光电区内形成光电掺杂区;形成所述光电掺杂区之后,在所述光电区的基底和保护层的界面处掺入改善离子,所述改善离子与界面处的悬挂键相结合。所述方法能够降低图像传感器的暗电流。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
背照式图像传感器及其制造方法
当前第 / 件
图像传感器及其形成方法
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覆盖
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