发明专利已授权

背照式图像传感器及其制造方法

📄 申请号：CN201810970047.9 📄 发布日：2025/09/08

著录项目信息

申请日

2018-08-24

公开号

CN109216389B

公开日

2020-12-04

申请人

淮安西德工业设计有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L27_146

IPC 分类号

H01L27_146

技术画像

所属领域

图像传感器图像传感器半导体器件半导体制造工艺

应用场景

智能手机摄像, 安防监控, 车载视觉, 医学影像, 工业检测

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摘要

本公开涉及背照式图像传感器及其制造方法。该背照式图像传感器包括:衬底，所述衬底具有第一导电类型并且具有第一掺杂浓度，所述衬底具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；所述衬底包括像素区域以及像素区域之间的隔离区域，其中所述隔离区域包括从所述第一表面延伸到所述第二表面的沟槽，所述沟槽包括：位于所述沟槽的侧壁上的沟槽衬垫层、位于所述沟槽的底部的第一导电类型的半导体材料以及位于所述沟槽的靠近所述第一表面的部分中的绝缘材料，其中所述半导体材料具有高于所述第一掺杂浓度的第二掺杂浓度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

图像传感器及其制作方法

当前第 / 件

图像传感器及其形成方法

同领域国内专利 · IPC: (H01L27_146)

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