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| 专利/申请号： | CN202322689032.4 | 专利名称： | 一种外延片清洗机 |
| 申请日： | 2023-10-08 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-08-06 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN221486431U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 32 | 所属领域： | 半导体制造设备 外延片加工技术 精密清洗工艺专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆厂外延生长后的杂质去除;化合物半导体材料表面处理;光刻前基板预处理;LED芯片衬底清洁;硅基功率器件制造流程中的清洗工序
摘 要：本实用新型提供有一种外延片清洗机，包括机体，所述机体的前表面上方安装有控制面板，所述机体的内部上表面安装有喷头，所述机体的内部下方表面安装有清洗盒，所述清洗盒的内部安装有内筒，所述内筒的内侧安装有连接轴，所述连接轴的一端安装有清洗槽，所述清洗槽的外侧安装有推拉隔板。该一种外延片清洗机，在内筒内部安装有连接轴和清洗槽，连接轴的一端与马达连接，通过马达带动连接轴转动从而带动清洗槽转动，在清洗槽转动时，能够对清洗槽内的外延片进行全面清洗，使得外延片的不同部分都能进行均匀程度的清洁，在清洗槽的内部两端安装有卡座，能够防止外延片移动脱离而影响清洁，增加了外延片安装的稳定，使得清洁工作更加安全。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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