实用新型已授权

一种外延片清洗机

Name: 一种外延片清洗机
Brand: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
SKU: 2023226890324
Price: 2344.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202322689032.4 📄 发布日：2026/09/22

著录项目信息

申请日

2023-10-08

公开号

CN221486431U

公开日

2024-08-06

申请人

华林科纳(江苏)半导体设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_687 , B08B3_10 , B08B3_02 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 外延片加工, 光电材料制备, 芯片封装

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型提供有一种外延片清洗机，包括机体，所述机体的前表面上方安装有控制面板，所述机体的内部上表面安装有喷头，所述机体的内部下方表面安装有清洗盒，所述清洗盒的内部安装有内筒，所述内筒的内侧安装有连接轴，所述连接轴的一端安装有清洗槽，所述清洗槽的外侧安装有推拉隔板。该一种外延片清洗机，在内筒内部安装有连接轴和清洗槽，连接轴的一端与马达连接，通过马达带动连接轴转动从而带动清洗槽转动，在清洗槽转动时，能够对清洗槽内的外延片进行全面清洗，使得外延片的不同部分都能进行均匀程度的清洁，在清洗槽的内部两端安装有卡座，能够防止外延片移动脱离而影响清洁，增加了外延片安装的稳定，使得清洁工作更加安全。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN221486431U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 2344.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种辅助湿制程设备

当前第 / 件

一种双腔甩干机

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_98 覆盖39个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

¥2344.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：13 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)