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| 专利/申请号： | CN202322544376.6 | 专利名称： | 一种辅助湿制程设备 |
| 申请日： | 2023-09-19 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H05K3/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-06-11 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN221127563U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 5 | 所属领域： | 半导体制造设备 湿法工艺辅助装置专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线上的晶圆清洗工序;先进封装中的表面处理环节;化合物半导体材料的蚀刻前预处理;高精密电子元件的去污工艺;纳米级薄膜沉积前的基板准备
摘 要：本实用新型提供有一种辅助湿制程设备，包括基座，所述搅拌箱顶部设有进液口，所述进液口底部设有过滤网，所述电机顶部设有转轴，所述搅拌箱顶部设有连接管，所述喷头底部设有净化箱，所述输送管顶部设有控制旋钮，所述排液口侧边设有排液盖。该辅助湿制程设备，通过电机的安装，通过电机的启动带动转轴进行转动，再通过转轴的转动带动搅拌杆进行转动，通过搅拌杆的转动对输入到搅拌箱内的处理液或清理液进行搅拌，确保处理液或清洗液通过搅拌杆的搅拌能混合的更加均匀，防止在对电路基板进行清洗时，出现液体均匀性不佳，导致难以对电路基板进行清洗，从而导致无法将电路基板上的废气进行处理，达到有效提高装置的清洗效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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