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摘 要:本发明涉及半导体领域,且公开了一种半导体工件制作用检测系统及方法,包括:图像采集模块,用于部署在制作产线上,获取原料制备前、制备中和产品制备完毕的图像数据,依据不同产品建立对应标准图像参考系,以标准图像参考系内数据实时比对当前获取图像数据,判断是否存在异常;工况采集模块,用于获取各工件制作设备的运行参数,按照预设采集周期,定期接收并转化设备工况参数,判断是否存在异常;通过实时图像检测和设备检测的方式,在一方检测过问题后,迅速调用另一方进行验证,以提升检测时的准确性,防止对异常的误判,并且当相同问题出现时,可在数据库内进行索引,迅速关联合适的解决方案,进而缓解算力压力。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202410225269.3 | 专利名称: | 一种半导体工件制作用检测系统及方法 |
申请日: | 2024-02-29 | 申请/专利权人 | 武汉禹华机电科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区九峰一路88号全球公共采购交易服务总部基地住宅部分二期第9幢商铺层6号(自贸区武汉片区) |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/66 半导体 |
公开/公告日: | 2024-05-28 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN118099017A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |