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摘 要:本实用新型公开了一种用于半导体反应腔室的防护条,包括腔室本体,所述腔室本体的内部滑动连接有四个连接座,所述连接座上接触有固定座,所述固定座上固定连接有连接块,所述连接块上固定连接有防护片,所述防护片与连接座接触,所述连接座上接触有多个防护块,相邻两个所述防护块之间相互接触,其中两个个所述防护块与防护片接触,所述连接座上设置有调节机构。本实用新型通过设计连接座与固定座的滑动连接,使得连接座与固定座的相对位置可进行调节,通过限位杆与限位槽的插接,可对连接座进行限位,可将不同数量的防护块安装与连接座上,使得可根据不同长度及宽度的腔室本体进行调节,提高了防护条适用性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222427585.8 | 专利名称: | 一种用于半导体反应腔室的防护条 |
申请日: | 2022-09-14 | 申请/专利权人 | 昆山富鑫铨精密机械有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市昆山市千灯镇西纬路29号4号房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01J37/32搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2023-02-21 | 转让价格: | 1690.0元 |
公开/公告号: | CN218513418U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |