实用新型已授权

上电极拆装辅助设备

📄 申请号：CN202021526297.2 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2020-07-28

公开号

CN212257345U

公开日

2020-12-29

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01J37_32

IPC 分类号

H01J37_32 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备装配工装设备维护工具

应用场景

半导体设备维护, 等离子体处理设备检修, 电极更换, 真空镀膜设备维护, 工业装配辅助

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摘要

本申请提供一种上电极拆装辅助设备，涉及半导体技术领域。本申请通过伸缩件连接支撑支架与固定件，以通过该伸缩件调节支撑支架与固定件之间的间距，而后通过将第一承载板和第二承载板分别与固定件滑动连接，并将第一承载板的承载表面与第二承载板的承载表面设置在同一水平面内，使第一承载板的承载表面与第二承载板的承载表面共同形成承载平面以承载待拆装上电极，从而实现在上电极拆装过程中对不同尺寸和/或不同安装高度的上电极进行承载的功能，防止上电极在拆装时突然掉落，减少拆装人员数目，降低拆装难度，提升拆装效率，并降低出现人员安全事故和器件人为损伤的出现概率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种废液排放组件与匀胶显影机

当前第 / 件

连接夹具及磊晶生长装置

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¥1800.0 元

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：58 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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