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摘 要:本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法,涉及有机镀膜技术领域,包括:转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光,利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上,对有机镀膜腔室内壁进行清洗,并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动,通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动,改变激光发射方向,对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行,缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时,严重影响生产进度的技术问题,实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810645978.1 | 专利名称: | 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法 |
申请日: | 2018-06-21 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01J37/32搜分类 清洗搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 8500.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |