发明专利已授权

镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法

Name: 镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法
Brand: 福鼎卓越知识产权管理有限公司
SKU: 2018106459781
Price: 8500.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810645978.1 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2018-06-21

公开号

CN108807129B

公开日

2020-09-01

申请人

福鼎卓越知识产权管理有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01J37_32

IPC 分类号

H01J37_32 , C23C16_44 ,

技术画像

所属领域

镀膜设备镀膜设备真空镀膜腔室清洗

应用场景

真空镀膜设备维护, 半导体制造, 平板显示制造, 光学镀膜, 薄膜沉积工艺

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摘要

本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，涉及有机镀膜技术领域，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行，缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题，实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN108807129B

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 8500.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241015

?? 专利权的转移：

20200901

✅ 授权

20181207

?? 实质审查的生效：

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当前第 / 件

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：29 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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