一种离子植入机旋转角度监控系统

摘     要：本发明公开了一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分与大气部分，所述高真空腔体部分的下端设置有大气部分，所述高真空腔体部分与大气部分通过套接连接，所述大气部分的下端设置有原机台柔性电缆，本发明一种离子植入机旋转角度监控系统利用一个软件硬件结合的系统来对最后的旋转吸盘的传动齿轮进行检测并得到数据传输给计算机系统，系统利用SPC软件来根据不同的旋转角度设置不同的限制，一旦超过范围则软件将给信号主机台产生报警，然后工程师根据报警去排查并解决问题，解决了离子植入机旋转角度监控中的ROPLAT旋转角度无法在线实时监控，避免了由于没有实时检测导致的大批晶圆报废的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注