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| 专利/申请号： | CN201910190627.0 | 专利名称： | 一种离子植入机旋转角度监控系统 |
| 申请日： | 2019-03-13 | 申请/专利权人 | 无锡际盟信息科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省无锡市新吴区和风路19号协信中心6号楼1602 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01J37/317 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2019-06-21 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109920714A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 100 | 所属领域： | 医疗专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分与大气部分，所述高真空腔体部分的下端设置有大气部分，所述高真空腔体部分与大气部分通过套接连接，所述大气部分的下端设置有原机台柔性电缆，本发明一种离子植入机旋转角度监控系统利用一个软件硬件结合的系统来对最后的旋转吸盘的传动齿轮进行检测并得到数据传输给计算机系统，系统利用SPC软件来根据不同的旋转角度设置不同的限制，一旦超过范围则软件将给信号主机台产生报警，然后工程师根据报警去排查并解决问题，解决了离子植入机旋转角度监控中的ROPLAT旋转角度无法在线实时监控，避免了由于没有实时检测导致的大批晶圆报废的问题。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2025/03/25 | 授权 | |
| 2019/08/20 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01J 37/317 专利申请号: 201910190627.0 申请日: 2019.03.13 |
| 2019/06/21 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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