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| 专利/申请号： | CN201811166539.9 | 专利名称： | 一种用于晶圆生产离子注入的控制装置 |
| 申请日： | 2018-10-08 | 申请/专利权人 | 江苏英锐半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01J37/317分类检索 半导体制造专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2019-01-04 | 转让价格： | 面议 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109148249A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产离子注入的控制装置，其可以通过提高筒体的盛放腔内的制备气体的控制精度；并且可以提高筒体盛放腔的制备气体的利用率；包括筒体和四组支腿，筒体的内部设置有盛放腔，盛放腔的顶端左侧连通设置有输入孔，盛放腔的顶端中部区域连通设置有输出孔；还包括左挂杆、右挂杆、支撑环、密封环、升降杆、螺纹杆、限位板和调节活塞，升降杆的中下部区域内部设置有伸缩腔；还包括横板、两组支撑架、挤压弹簧、密封塞、充气缸、恢复弹簧、左固定块、右固定块、左挡块、右挡块、动力活塞、推动杆、挑杆、固定杆、限位弹簧和转动杆，筒体的内部设置有工作腔。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/05/21 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2024.05.06 申请人由江苏英锐半导体有限公司变更为盐城苏高汽睿科技有限公司 国家或地区由中国变更为中国 地址由224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房变更为224000 江苏省盐城市盐都区盐龙街道华锐中路9号盐城高新技术创业园服务中心3楼(D) |
| 2024/05/28 | 授权 | |
| 2019/01/29 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01J 37/317 专利申请号: 201811166539.9 申请日: 2018.10.08 |
