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| 专利/申请号： | CN201910044747.X | 专利名称： | 一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法 |
| 申请日： | 2019-01-17 | 申请/专利权人 | 江苏大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省镇江市京口区学府路301号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-05-05 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109671616B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 66 | 所属领域： | 激光专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供了一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法，首先，将对激光具有吸附作用的黏胶涂覆在工件的待清洗表面，通过黏胶将颗粒污物包围，经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内；然后，利用脉冲激光束辐照黏胶层表面，脉冲激光束作用在黏胶层上，产生冲击波，在激光的瞬时热力作用下，黏胶层和固化在黏胶内的颗粒污物开裂，形成粒度为100～300μm的碎片，并从工件的表面飞离，使颗粒污物从工件的待清洗表面分离；工件经过高压气体吹洗之后，放入丙酮溶液进行超声清洗清除粘着在工件表面的残渣。能够有效清洗工件表面的颗粒，保护工件表面免受激光的直接烧蚀，从而避免硅片表面受到激光热效应的损伤。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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