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一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法

来源:https://www.shizifang.com  发布日:2024/12/12

摘     要:本发明提供了一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法,首先,将对激光具有吸附作用的黏胶涂覆在工件的待清洗表面,通过黏胶将颗粒污物包围,经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内;然后,利用脉冲激光束辐照黏胶层表面,脉冲激光束作用在黏胶层上,产生冲击波,在激光的瞬时热力作用下,黏胶层和固化在黏胶内的颗粒污物开裂,形成粒度为100~300μm的碎片,并从工件的表面飞离,使颗粒污物从工件的待清洗表面分离;工件经过高压气体吹洗之后,放入丙酮溶液进行超声清洗清除粘着在工件表面的残渣。能够有效清洗工件表面的颗粒,保护工件表面免受激光的直接烧蚀,从而避免硅片表面受到激光热效应的损伤。

著 录 项: 

专利/申请号: CN201910044747.X 复制 专利名称: 一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法 复制
申请日: 2019-01-17 申请/专利权人 江苏大学
专利类型: 发明 地址: 江苏省镇江市京口区学府路301号
专利状态: 已下证 查询审查信息 分类号: H01L21/02搜分类   激光搜索
公开/公告日: 2023-05-05 转让价格: 面议
公开/公告号: CN109671616B 交易状态: 等待洽谈   搜索相似专利

专利交易流程

  • 1. 买家选定所需专利,确认国家手续办理方,下单,确认交易合同;
    2. 卖家确认专利可交易;
    3. 买家支付交易款项到平台;
    4. 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方;
    5. 办理国家手续方提交办理官方手续,国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》;
    6. 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》;
    7. 平台把交易款项支付给卖家,至此专利转让合同完成。

专利转让材料

  • 交易方 企业 个人
    买家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(签字)
    专利转让委托书(需盖公章)一式两份 专利转让委托书(需签字)一式两份
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    卖家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(需申请人签字)
    解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请)
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
    专利证原件(若授权下证) 专利证原件(若授权下证)

专利法律信息

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