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摘 要:本发明提供了一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法,首先,将对激光具有吸附作用的黏胶涂覆在工件的待清洗表面,通过黏胶将颗粒污物包围,经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内;然后,利用脉冲激光束辐照黏胶层表面,脉冲激光束作用在黏胶层上,产生冲击波,在激光的瞬时热力作用下,黏胶层和固化在黏胶内的颗粒污物开裂,形成粒度为100~300μm的碎片,并从工件的表面飞离,使颗粒污物从工件的待清洗表面分离;工件经过高压气体吹洗之后,放入丙酮溶液进行超声清洗清除粘着在工件表面的残渣。能够有效清洗工件表面的颗粒,保护工件表面免受激光的直接烧蚀,从而避免硅片表面受到激光热效应的损伤。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910044747.X | 专利名称: | 一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法 |
申请日: | 2019-01-17 | 申请/专利权人 | 江苏大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省镇江市京口区学府路301号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/02搜分类 激光搜索 |
公开/公告日: | 2023-05-05 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109671616B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |