发明专利已授权

一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法

📄 申请号：CN202010584733.X 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2020-06-24

公开号

CN111687544A

公开日

2020-09-22

申请人

南京工业职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_38

IPC 分类号

B23K26_38 , B23K26_70 ,

技术画像

所属领域

激光加工激光加工精密位移控制压电陶瓷驱动

应用场景

激光调阻, 电子元器件制造, 精密加工, 微纳制造

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摘要

本发明公开一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法，涉及激光精细加工领域，包括光束整形头、压电陶瓷位移模块和脉冲激光器，所述脉冲激光器与光束整形头连接，所述压电陶瓷位移模块设于光束整形头内，所述光束整形头内设有准直镜片，所述准直镜片用于保证入射光可以整形成为平行光，所述压电陶瓷位移模块用于控制准直镜片位移，通过压电陶瓷位移模块对光束整形头内的准直镜片进行纳米级的位移控制，来精确控制激光束在片状电阻上的刻蚀的长度，位移精度高，电阻可调精度高，可以获得更高精度的电阻元件。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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¥12900.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：8 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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