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| 专利/申请号： | CN201711429316.2 | 专利名称： | 用于气相沉积的喷头 |
| 申请日： | 2017-12-26 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C16/455分类检索 半导体工艺 芯片 晶圆薄膜沉积均匀专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2020-07-14 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN108103479B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本公开涉及半导体工艺领域的气相沉积设备以及用于气相沉积的喷头。其中一个实施例提供了一种用于气相沉积的喷头，其中，所述喷头包括多个孔；并且位于所述喷头的边缘区域的孔向所述喷头的外部倾斜。还提供了一种气相沉积设备，其包括：用于气相沉积的喷头；加热器，所述加热器位于所述喷头的正下方；以及支撑轴，所述支撑轴支撑所述加热器。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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