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摘 要:本发明公开了一种芯片晶粒挑选装置,包括机架、用于传输晶圆用的传送带以及用于挑选带有磁粉墨点的晶粒的筛选机构,所述筛选机构包括设置于传送带一侧的转轴,所述转轴上连接有驱动装置,所述转轴上端设置有多个支撑板,每个所述支撑板上均设置有电磁板以及控制电磁板开关的控制系统,所述机架上设置有与转轴同侧的用于接收从电磁板上掉落的晶粒的收集盘。本发明通过传送带不停的传送晶圆并且转轴不停的转动使得转轴上的支撑板依次扫过晶圆不需要传送带停止等待晶圆筛选完毕后继续运动,提高了筛选效率,不需要另外的机构将晶粒刮下,提高了瑕疵晶粒的完整度,有利于后期回收利用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910859534.2 | 专利名称: | 芯片晶粒挑选装置及其工作方法 |
申请日: | 2019-09-11 | 申请/专利权人 | 四川洪芯微科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2019-12-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110571174A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |