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| 专利/申请号： | CN201811491409.2 | 专利名称： | 卡盘销以及卡盘销自清洗装置 |
| 申请日： | 2018-12-06 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/687 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2019-04-26 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109686694A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 7 | 所属领域： | 清洗专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供一种卡盘销，包括卡盘销主体；定位销，其固定到所述卡盘销主体的一侧并与所述卡盘销主体偏心布置；以及齿轮，其固定到所述卡盘销主体的另一侧并与所述卡盘销主体同心布置，所述齿轮用于带动所述卡盘销主体以及所述定位销转动；所述卡盘销还包括：注液管路，其延伸穿过所述定位销、所述卡盘销主体以及所述齿轮；以及出液管路，其延伸穿过所述卡盘销主体以及所述齿轮。本发明还提供一种包括所述卡盘销的卡盘销自清洗装置。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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