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摘 要:本发明提供一种卡盘销,包括卡盘销主体;定位销,其固定到所述卡盘销主体的一侧并与所述卡盘销主体偏心布置;以及齿轮,其固定到所述卡盘销主体的另一侧并与所述卡盘销主体同心布置,所述齿轮用于带动所述卡盘销主体以及所述定位销转动;所述卡盘销还包括:注液管路,其延伸穿过所述定位销、所述卡盘销主体以及所述齿轮;以及出液管路,其延伸穿过所述卡盘销主体以及所述齿轮。本发明还提供一种包括所述卡盘销的卡盘销自清洗装置。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201811491409.2 | 专利名称: | 卡盘销以及卡盘销自清洗装置 |
申请日: | 2018-12-06 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/687搜分类 清洗搜索 |
公开/公告日: | 2019-04-26 | 转让价格: | 9000.0元 |
公开/公告号: | CN109686694A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |