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摘 要:一种芯片脱膜装置,属于芯片制备领域,包括放置单元及筛分机构。放置单元包括转动机构,转动机构上连接有固定机构,固定机构上设有顶撑机构。筛分机构包括底板,底板上开设有让位槽,底板上安装有箱体,箱体上端安装有脱膜构件,箱体内设有筛分构件,筛分构件连接有往复机构,往复机构上连接有驱动机构。方便进行芯片即晶粒的脱膜操作,并在脱膜时,能够进行晶圆盘和粘贴膜的稳定固定,以避免影响脱膜效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202211219346.1 | 专利名称: | 一种芯片脱膜装置 |
申请日: | 2022-10-08 | 申请/专利权人 | 四川洪芯微科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/683搜分类 芯片制备 芯片加工 晶圆 芯片晶粒搜索 |
公开/公告日: | 2023-01-10 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115295476B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |