一种晶圆片沟槽腐蚀装置

摘     要：一种晶圆片沟槽腐蚀装置，设于两个传送带之间，包括：工作台、转移机构、夹持机构、推动机构。工作台两端设有用于放置晶圆架的凹部，还设有位于两个凹部之间的腐蚀池和清洗池；转移机构包括两个沿工作台长度方向设置且对称布置的轨道和转移单元，轨道包括波浪段和其两端的直线段，转移单元位于轨道外侧；夹持机构包括沿轨道轨迹移动的连杆，连杆两端连接于转移单元的移动端，连杆上设有多个在竖直和水平方向上移动的弯钩，用于夹持晶圆架；推动机构包括两个分别设于直线段上的推动单元，用于推动弯钩移动。自动将传送带上的晶圆架转移并进行沟槽腐蚀的作业，全程无需人工操作，最大程度避免了与腐蚀液之间的接触，从而保证了工作人员的健康。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注