一种晶圆裂片装置及晶圆裂片方法

摘     要：一种晶圆裂片装置及晶圆裂片方法，属于制造半导体器件的设备技术领域，裂片装置包括：下模组及上模组。下模组包括底板，底板中部具有圆孔，圆孔内设有气囊，气囊内部加压之后，其顶面呈圆弧顶结构，且弧形顶向上凸出与底板的顶面，气囊泄压之后，其顶面低于底板的顶面，圆孔内沿圆周阵列设有多块导向块，导向块朝向圆孔中心的一侧为圆弧面，圆弧面倾斜朝向圆孔的下方，当气囊内部加压时，气囊外壁与导向块的圆弧面贴合。上模组包括压板，压板的底面具有圆形的沉孔，沉孔内沿圆周阵列设有多块弧形板，弧形板的底面为圆弧面。利用本申请的裂片装置进行裂片，能有效防止晶粒崩裂及缺角，避免产生不良品。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注