光刻效率调节方法、装置、服务器及计算机可读存储介质

摘     要：本发明提供一种光刻效率调节方法、装置、服务器及计算机可读存储介质，方法包括获取包括聚焦深度的第一范围及曝光剂量的第一范围的第一工艺窗口；选择参考聚焦深度，获取与参考聚焦深度相对应的参考透镜数值孔径；选择包括聚焦深度的第二范围及曝光剂量的第二范围的第二工艺窗口，曝光剂量的第二范围与曝光剂量的第一范围相同，且聚焦深度的第二范围的下限小于参考聚焦深度；在聚焦深度的第二范围内，选择工作聚焦深度，获取与工作聚焦深度相对应的工作透镜数值孔径，且工作透镜数值孔径大于参考透镜数值孔径。本发明可减小曝光时间，提高光刻效率、增加光刻机的产能、降低生产成本。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注