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摘 要:本发明涉及一种刻蚀电极和一种边缘刻蚀装置,所述刻蚀电极包括:电极主体,包括底座和位于底座上的凸起电极,所述凸起电极顶部为电极表面,所述底座与凸起电极之间具有环形凹槽;环绕电极主体的内外套嵌设置的至少一个遮挡环,所述至少一个遮挡环位于所述环形凹槽内;驱动器,与所述遮挡环连接,用于控制各个遮挡环在垂直电极表面的方向上进行上升和下降运动,其中,上升时,所述遮挡环向电极表面方向运动,下降时,所述遮挡环向底座方向运动。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810158966.6 | 专利名称: | 刻蚀电极和边缘刻蚀装置 |
申请日: | 2018-02-26 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01J37/32搜分类 电子设备和元器件搜索 |
公开/公告日: | 2020-07-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108470670B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |