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| 专利/申请号： | CN201810158966.6 | 专利名称： | 刻蚀电极和边缘刻蚀装置 |
| 申请日： | 2018-02-26 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01J37/32 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-07-24 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN108470670B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 34 | 所属领域： | 电子设备和元器件专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及一种刻蚀电极和一种边缘刻蚀装置，所述刻蚀电极包括：电极主体，包括底座和位于底座上的凸起电极，所述凸起电极顶部为电极表面，所述底座与凸起电极之间具有环形凹槽；环绕电极主体的内外套嵌设置的至少一个遮挡环，所述至少一个遮挡环位于所述环形凹槽内；驱动器，与所述遮挡环连接，用于控制各个遮挡环在垂直电极表面的方向上进行上升和下降运动，其中，上升时，所述遮挡环向电极表面方向运动，下降时，所述遮挡环向底座方向运动。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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