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| 专利/申请号: | CN202010641638.9 | 专利名称: | 一种用于半导体石墨清洗的清洗设备及其清洗方法 |
| 申请日: | 2020-07-06 | 申请/专利权人 | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | 山西省大同市新荣区花园屯村 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B08B3/10 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2022-08-09 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN112077069B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 2 | 所属领域: | 半导体制造 石墨加工 精密清洗技术专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆制造过程中石墨部件的高效清洁;光伏产业中石墨基座的维护清理;电子元器件生产中石墨模具的循环利用前处理
摘 要:本发明公开了一种用于半导体石墨清洗的清洗设备,包括底座,在底座顶面两侧的中部分别固定设有立柱和导向柱,在导向柱的柱体上部设有缓冲组件;在立柱内侧面的上部竖向活动设有滑板,在滑板的外侧中部横向固定设有横梁,在底座的顶面中部两侧分别固定设有矩形的清洗箱和支撑座,在清洗箱内设有清洗组件;在导向杆的杆体活动套设有滑块;在电推杆的伸缩端底部设有承载组件;本发明便于操作,通过升降组件和调节组件解决了现有半导体石墨在清洗时不便于工作人员进行取放工作的问题;通过清洗组件解决现有半导体石墨清洗装置清洗耗时较长的问题;通过收集箱便于增加对于清洗药液的回收利用,便于节约资源。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2020106416389 | 【发明】一种用于半导体石墨清洗的清洗设备及其清洗方法 | 2025/11/10 |
| 2023220686333 | 【实用新型】一种异形金属壳体表面清洗装置 | 2025/11/10 |
| 2020208717386 | 【实用新型】一种五金冲压件多种功能检测装置 | 2025/11/07 |
| 2024200296669 | 【实用新型】一种藤梨根的清洗装置 | 2025/11/06 |
| 2023230326940 | 【实用新型】一种等静压石墨原料清洗设备 | 2025/11/06 |
| 2023225997860 | 【实用新型】一种大米加工用清洗设备 | 2025/11/06 |
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| 2022228484227 | 【实用新型】一种具有降尘防溅功能的砂石分离机 | 2025/11/06 |
| 2024229372980 | 【实用新型】一种紧固件清洗装置 | 2025/11/05 |
| 2021113971085 | 【发明】一种产科用医疗器械消毒清洁装置 | 2025/11/05 |