发明专利已授权

一种翻转式清洗机上的硅片盒

📄 申请号：CN202010902802.7 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2020-09-01

公开号

CN112024519A

公开日

2020-12-04

申请人

赣州市业润自动化设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B3_10

IPC 分类号

B08B3_10 , B08B3_06 , B08B13_00 , H01L21_67 , H01L21_673 ,

技术画像

所属领域

半导体清洗设备半导体清洗设备晶圆载具硅片湿法加工

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 光伏硅片清洗, 集成电路制造, 硅片湿法处理

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摘要

本发明公开了一种翻转式清洗机上的硅片盒，包括圆筒形的盒体，盒体内插设有抽屉架，抽屉架包括两根呈截面呈T形的弧形支撑板，弧形支撑板的内壁上成型有若干道圆弧形的插槽，弧形支撑板一端的内壁上固定有外端盖，弧形支撑板另一端的内壁上固定有内端盖；所述盒体下端的两侧壁上成型有T型的导轨槽，抽屉架上的弧形支撑板插接在盒体的导轨槽内，盒体的封板上成型有圆孔，内端盖上插接固定有偏心轴，偏心轴穿过封板的圆孔成型有连轴，连轴上插套有磁性锁杆，连轴的外端插套固定有限位套，所述圆孔四周的封板上插接固定有与磁性锁杆相对的永磁铁块。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210806

✅ 授权

20210730

⏳ 专利申请权的转移：

20201222

?? 实质审查的生效：

20201204

📄 公开

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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