本发明属于机械加工领域，公开了一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统，包括：步骤1，构建化学机械抛光的数学模型；步骤2，搭建测试平台进行力和力矩信号采集；步骤3，进行边缘计算平台的电路设计；步骤4，进行参数控制实验；步骤5，进行上位机系统的开发；步骤6，最终得到基于力和力矩信号的高硬脆材料加工状态预测模型的训练集；步骤7，对加工状态预测模型进行训练；步骤8，使用训练好的加工状态预测模型进行终点检测。本发明利用抛光扭矩对抛光状态进行在线实时检测，并进行状态反馈的方法，可提升抛光加工效率，提高抛光质量及抛光成品率，降低成本。
📄 2024117323140
📂 B24B37_013
👤 浙江工业大学
📅 2024-11-29
本发明公开了一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法；该装置包括机床、模块化机械抛光模块、可调式紫外光灯照射模块和抛光安装模块。模块化机械抛光模块装夹在机床的主轴上。模块化机械抛光模块包括沿着主轴的周向依次排列的多个模块化叶片。本发明在叶片状的抛光结构上方布置紫外灯，使得紫外灯射出的紫外光能够通过抛光叶片之间的缝隙照射到抛光液和试样上，从而引发光催化辅助的化学腐蚀，实现了光催化化学腐蚀与机械抛光的同时执行，避免了现有技术中先将试样置于光催化装置中处理，再置于机械抛光机床中加工的复杂操作并提高了抛光效率。同时，本发明通过相邻的模块化叶片内端相互嵌合减小安装模块化叶片的槽盘直径。
📄 2025103373651
📂 B24B37_00
👤 浙江工业大学
📅 2025-03-21
本发明公开了芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，包括变幅杆、微型超声发生器和工具头，变幅杆上端连接微型超声发生器，变幅杆下端连接可更换的工具头；在工具头底部设有多层镀层或镀一层涂层，若涂层材料是金刚石，先采用金刚石砂轮对工具底部涂层进行磨削，将涂层表面磨成平面，再采用化学机械抛光的方法对涂层表面抛光，之后在工具头底部涂层厚度范围内加工微半球凹模阵列，凹模深度小于涂层厚度，半球凹模直径大于等于用于超声发射的球体直径。本发明大幅提升半球凹模阵列的加工效率，保证凹模圆周半径的一致性和不同凹模之间几何形状的一致性，对加工完成的凹模可采用柔性体化学试剂抛光，实现纳米级表面粗糙度。
📄 2019104633909
📂 B24B1_04
👤 浙江工业大学
📅 2019-05-30
本发明公开了一种SiC单晶片的超声辅助电化学机械抛光加工装置及方法，SiC单晶片和不锈钢电极分别与脉冲电源的正极和负极相连，在抛光液中构成闭合回路，晶片作为阳极发生阳极氧化生成一层氧化膜，在通过抛光垫和磨粒机械性地去除氧化层该方法抛光材料去除效率高，机械抛光不会对SiC单晶基材造成损失；且不会消耗大量电能，节能环保，另外本发明加工装置简单，加工方法易实现，适合大范围推广使用。
📄 2019104704834
📂 H01L21_304
👤 西安理工大学
📅 2019-05-31
本申请涉及一种金刚石复相材料表面的加工方法，该加工方法包括：采用机械研磨法对金刚石复相材料的加工表面进行研磨；采用化学机械抛光法对研磨后的加工表面进行抛光处理，以使加工表面的粗糙度均值Sa≤1nm，且损伤层厚度基本为零，其中，粗糙度均值Sa为在金刚石复相材料的取样面积内，测量表面上的各点到基准表面的高度的绝对值的算术平均值。该加工方法可以高效率、高精度地加工金刚石复相材料的表面，且表面基本无损伤，操作简单，加工成本低，有利于推广使用。
📄 2021102236752
📂 B24B1_00
👤 燕山大学
📅 2021-03-01
本发明提供一种纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法，步骤为：制备A型和B型抛光液；利用浸水状态下的玻璃盘作为粗抛抛光盘，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定粗抛工艺参数，并利用A型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行粗抛，得到切削刃钝圆半径为100mm‑200nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀；选取具有惰性且硬度适中的氧化铝作为磨粒，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定精抛工艺参数，并利用B型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光，得到钝圆半径小于50nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。本发明具有更高的材料去除率，得到具有锋利刃口的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。
📄 2023101704665
📂 B24B3_34
👤 燕山大学
📅 2023-02-27
本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。
📄 2022108528797
📂 B24B37_34
👤 华侨大学
📅 2022-07-20
本发明涉及一种大尺寸晶圆的制备方法，通过提供一初始衬底晶圆和单晶锭材料；对单晶锭材料进行微机械修整，形成单晶锭柱体，再对单晶锭柱体进行第一次离子注入，起泡剥离后形成键合嵌片；对键合嵌片进行第二次离子注入，将多个第二次离子注入后的键合嵌片与初始衬底晶圆进行对称/非对称键合，即根据预先设计好的版图进行键合，以得到组合晶圆；对组合晶圆进行退火，起泡剥离键合嵌片的一部分；对组合晶圆表面及键合嵌片间隙淀积化合物薄膜，并进行化学机械抛光，停止于键合嵌片表面，得到大尺寸晶圆。本发明采用了离子注入智能剥离的方法，将多个键合嵌片同时键合和剥离，且剥离后的键合嵌片可循环利用，极大地降低了生产成本。
📄 2014100792354
📂 H01L29_06
👤 上海新储集成电路有限公司
📅 2014-03-05
本发明提供了一种化学机械抛光液用硅溶胶，通过高岭土提纯处理，利用制浆分级获得磁选料-梯度磁选除铁钛-焙烧增白-高温钙化，最终获得硅溶胶原料用氧化硅，有效的提高了高岭土在抛光领域的使用范围，便于向高精度化学机械抛光领域拓展，且制备的氧化硅纳米颗粒尺寸均一，分散性良好，适于作为蓝宝石抛光液中硅元素的原材料。
📄 2019103209420
📂 C01B33_18
👤 左海珍
📅 2019-04-21
柿子坊 · 知识产权运营
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