发明专利已授权

金刚石复相材料表面的加工方法

📄 申请号：CN202110223675.2 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-03-01

公开号

CN113182938A

公开日

2021-07-30

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_00

IPC 分类号

B24B1_00

技术画像

所属领域

金刚石材料金刚石材料表面加工技术精密加工技术

应用场景

精密刀具制造, 磨具加工, 半导体衬底加工, 光学元件加工, 散热材料加工

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摘要

本申请涉及一种金刚石复相材料表面的加工方法，该加工方法包括：采用机械研磨法对金刚石复相材料的加工表面进行研磨；采用化学机械抛光法对研磨后的加工表面进行抛光处理，以使加工表面的粗糙度均值Sa≤1nm，且损伤层厚度基本为零，其中，粗糙度均值Sa为在金刚石复相材料的取样面积内，测量表面上的各点到基准表面的高度的绝对值的算术平均值。该加工方法可以高效率、高精度地加工金刚石复相材料的表面，且表面基本无损伤，操作简单，加工成本低，有利于推广使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于深度网络和目标分割结合的目标跟踪方法及装置

当前第 / 件

基于激光测距的便携式轧辊辊形曲线检测装置

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