发明专利 已授权

金刚石复相材料表面的加工方法

📄 申请号:CN202110223675.2 📄 发布日:2026/09/09

著录项目信息

申请日
2021-03-01
公开号
CN113182938A
公开日
2021-07-30
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密刀具制造, 磨具加工, 半导体衬底加工, 光学元件加工, 散热材料加工

摘要

本申请涉及一种金刚石复相材料表面的加工方法,该加工方法包括:采用机械研磨法对金刚石复相材料的加工表面进行研磨;采用化学机械抛光法对研磨后的加工表面进行抛光处理,以使加工表面的粗糙度均值Sa≤1nm,且损伤层厚度基本为零,其中,粗糙度均值Sa为在金刚石复相材料的取样面积内,测量表面上的各点到基准表面的高度的绝对值的算术平均值。该加工方法可以高效率、高精度地加工金刚石复相材料的表面,且表面基本无损伤,操作简单,加工成本低,有利于推广使用。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN113182938A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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