发明专利已授权

一种线圈电磁挤压式磁过滤装置

Name: 一种线圈电磁挤压式磁过滤装置
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2021107445877
Availability: InStock

📄 申请号：CN202110744587.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-07-01

公开号

CN113463039A

公开日

2021-10-01

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32

技术画像

所属领域

过滤装置电磁分离技术磁过滤技术流体净化技术过滤装置

应用场景

工业废水处理, 油液过滤净化, 化工流体处理, 冷却液过滤, 液压系统净化

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摘要

本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220802

✅ 授权

20220715

⏳ 著录事项变更：

20211026

?? 实质审查的生效：

20211001

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：31 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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