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摘 要:本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置,属于真空镀膜技术领域,包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件;所述电弧阴极设置在所述安装法兰上,所述安装法兰与所述偏转室的一端连接,所述偏转室的另一端与所述真空室连通,所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式,能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转,完成大颗粒的过滤,使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善,有利于大面积和均匀沉积;并且在完成膜层沉积时,工件转架具有很大的自由设计空间,不被磁控过滤弯管的位置所限制,值得被推广使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110744587.7 | 专利名称: | 一种线圈电磁挤压式磁过滤装置 |
申请日: | 2021-07-01 | 申请/专利权人 | 安徽工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 安徽省马鞍山市湖东路59号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/32搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2021-10-01 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113463039A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |