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| 专利/申请号： | CN202110744587.7 | 专利名称： | 一种线圈电磁挤压式磁过滤装置 |
| 申请日： | 2021-07-01 | 申请/专利权人 | 安徽工业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 安徽省马鞍山市湖东路59号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/32 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-10-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN113463039A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 16 | 所属领域： | 真空镀膜技术专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2022/08/02 | 授权 | |
| 2022/07/15 | 著录事项变更 | 发明人由赵栋才 王启明 郑军 刘兴光 张子扬 变更为赵栋才 王启民 郑军 刘兴光 张子扬 |
| 2021/10/26 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/32 专利申请号: 202110744587.7 申请日: 2021.07.01 |
| 2021/10/01 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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