发明专利 已授权

一种具有剪切膨胀特性的高效抛光盘及其制备方法

📄 申请号:CN202011487724.5 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2020-12-16
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

精密加工, 表面抛光, 化学机械抛光, 光学元件加工, 模具抛光

摘要

一种具有剪切膨胀特性的高效抛光盘,包括柔性固着磨具、抛光层、刚性层、粘合层和吸附层,所述柔性固着磨具由具有非牛顿流体特性的粘弹性胶基和磨粒组成,所述柔性固着磨具组分及其质量百分比为:粘弹性聚合物69%~85%,粒度在0.05~50μm之间的磨粒10%~30%,分散剂1%~5%;所述抛光层中填充有柔性固着磨具,所述刚性层位于抛光层下面,所述粘合层位于抛光层与刚性层之间且将抛光层与刚性层粘合在一起,所述吸附层粘合在刚性层的底面,所述吸附层吸附在抛光设备基盘上。以及提供一种具有剪切膨胀特性的高效抛光盘的制备方法。本发明可用于难加工硬脆材料的平面抛光,具有加工效率高,加工质量好,经济成本低等优点。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:79 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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