发明专利已授权

基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器

📄 申请号：CN201811129371.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-09-27

申请人

青岛科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_10

IPC 分类号

H01S5_10 , H01S5_183 ,

技术画像

所属领域

光子晶体谐振腔光子晶体谐振腔纳米梁激光器半导体激光器

应用场景

光通信, 光互连, 光子集成电路, 微纳光电子器件, 传感器

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摘要

本发明公开了一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器。该激光器由下至上依次包括Si基衬底、热氧化SiO2层、Si波导、BCB层、SiO2层、P掺杂层、有源区、N掺杂层、SiO2包覆层；所述Si基衬底、所述热氧化SiO2、所述Si波导共同构成SOI波导结构；所述P掺杂层、所述有源区、所述N掺杂层共刻出纳米梁谐振腔；所述P掺杂层上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导平行的条状上电极，所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导方向两端镀有下电极。本发明利用圆环形光子晶体纳米梁作为激光器的谐振腔，通过进一步减小光互连VCSEL有源区体积以提高激光器高速和低能耗性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：17 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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