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摘 要:本发明公开了一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器。该激光器由下至上依次包括Si基衬底、热氧化SiO2层、Si波导、BCB层、SiO2层、P掺杂层、有源区、N掺杂层、SiO2包覆层;所述Si基衬底、所述热氧化SiO2、所述Si波导共同构成SOI波导结构;所述P掺杂层、所述有源区、所述N掺杂层共刻出纳米梁谐振腔;所述P掺杂层上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导平行的条状上电极,所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导方向两端镀有下电极。本发明利用圆环形光子晶体纳米梁作为激光器的谐振腔,通过进一步减小光互连VCSEL有源区体积以提高激光器高速和低能耗性能。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201811129371.4 | 专利名称: | 基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器 |
申请日: | 2018-09-27 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01S5/10搜分类 激光 光子晶体 纳米搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |