发明专利已授权

一种中间调节刚度的刚柔耦合平台及运动平台

📄 申请号：CN201811524858.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-12-13

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q1_26

IPC 分类号

B23Q1_26

技术画像

所属领域

柔顺机构柔顺机构刚度调节精密运动平台

应用场景

精密运动控制, 半导体制造, 精密测量仪器, 光刻设备, 微纳制造

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摘要

本发明公开了一种中间调节刚度的刚柔耦合平台，所述刚柔耦合平台包括：刚度支撑平台、核心运动平台和连接柔性铰链组；所述刚度支撑平台通过所述连接柔性铰链组与所述核心运动平台连接；所述刚柔耦合运动平台还包括刚度调节机构；所述刚度调节机构包括上固定块、下固定块、弹簧片和刚度调节件；所述上、下固定块被固定在所述刚度支撑平台上；所述上、下固定块夹持所述弹簧片并将所述弹簧片保持在核心运动平台的运动方向上的所述刚度支撑平台与所述核心运动平台之间的空隙中；所述刚度调节件设置在所述弹簧片的中部；所述刚度调节件用于改变所述弹簧片的刚度。本发明能够柔性铰链的刚度，实现了采用一个平台即可适应不同工况。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种易维护刚柔耦合平台结构及其组成的多自由度运动平台

当前第 / 件

气缸式刚度切换装置及使用其的刚柔耦合运动平台和方法

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