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本发明涉及基于方箱的超精密X‑Y气浮平面定位平台，在花岗石支承平台上设置有超精密花岗石基准方箱、X向运动气浮导轨部件和Y向运动气浮导轨部件，超精密花岗石基准方箱为矩形框架结构，其设置在Y向运动气浮导轨部件内可实现基准方箱的Y向运动，在基准方箱的外部套设所述X向运动气浮导轨部件，X向运动气浮导轨部件为矩形框架结构，基准方箱与X向运动气浮导轨部件之间的四个接触面均设有气浮结构薄膜，X向运动气浮导轨部件的上端面设有X向驱动直线电机组件和X向检测定光栅组件，X向运动气浮导轨部件可在基准方箱上X向气浮运动。将二维气浮运动定位平台的定位精度从微米向亚微米及甚至纳米级方向趋近。

本实用新型公开了一种XY轴气缸模组，应用在气缸模组领域，包括X轴驱动组件，所述X轴驱动组件的顶部安装有Y轴驱动组件，所述X轴驱动组件的底部设置有固定框，所述固定框的顶部焊接有固定筒，所述X轴驱动组件的正面和背面均焊接有基板，所述固定筒的顶部滑动套接有与基板焊接的连接杆，所述固定框的内部设置有安装板，所述安装板的两侧均通过卡槽卡接有卡板，所述卡板的另一侧和固定框之间通过弹簧固定片栓接有限位弹簧，所述卡板的另一侧焊接有固定杆；能够便于对自身快速拆装，操作简单方便，提高了工作人员的工作效率，实用性高，同时能够具备高度调节功能，可根据现场生产需求进行上下调节，灵活性好。

一种基于二自由度压电作动器的精密工作台，本申请工作台面的两侧各有一个侧板，所述工作台面两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨，滚子滑轨的槽内放有滚子，滚子滑轨两端弯折部与侧板外壁相连，固定套筒固定在工作台面底部，固定套筒内有压力传感器，压力调节螺钉穿过工作台面抵住压力传感器后端，振子顶部有固定轴，固定轴通过键安装在过固定套筒底部的插孔内，振子的四个弯折端的下方有对应的驱动足，压紧螺钉穿过压盖将成对的压电陶瓷片固定安装在对应振子的弯折端的斜面上。本申请工作台基于二自由度压电作动器，单个压电作动器即可输出二自由度驱动力，并且移动台只需一个，结构简单紧凑，具有非常好的应用前景。