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本发明公开了一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本发明中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器；气嘴安装孔内放置气嘴，供气模块给气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块固定，驱动模块驱动载物台；气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通。本发明能实时获取气浮模块高度信号，并对载物台高度进行实时补偿，提高加工精度。

本实用新型涉及一种狭缝节流气浮转台，包括转轴、工作台、驱动部件及气浮轴承，转轴包括转轴主体、上法兰与下法兰，工作台设在上法兰上，驱动部件设在下法兰上，气浮轴承包括下止推凸台、径向节流套以及径向端环、气室外套，气室外套与径向节流套之间形成气室；在下止推凸台上设下定位台阶，在下定位台阶上设下止推圆环；在工作台与上法兰之间设上止推凸台，在上止推凸台上设上定位台阶，在上定位台阶上设上止推圆环，在上止推圆环与下止推圆环之间设定距环；在径向节流套上形成狭缝，在上定位台阶处形成狭缝，在下定位台阶处形成狭缝，气体从狭缝进入转轴的外表面并形成气膜。防止气锤振动及微观跳动现象发生，工作更加稳定，具有更好的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利