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本发明公开了一种三自由度柔性并联运动平台及系统，涉及微运动平台技术领域，采用微型直线伺服驱动器配合变直径螺旋型柔性铰链驱动动平台，能够实现动平台可在大行程运动范围的同时保证其运动精度，并进一步增加了视觉检测系统，对动平台的位姿进行在线高精度测量，形成闭环反馈控制，解决开环带来的运动误差；具体方案如下：一种三自由度柔性并联运动平台，包括固定平台，固定平台上设有三条支链和动平台，三条支链呈120°旋转对称均匀分布在动平台外围，每条支链一端连接动平台，另一端连接微型直线伺服驱动器，所述支链包括至少两个串联的变直径螺旋型柔性铰链，微型直线伺服驱动器驱动支链位移以实现动平台水平和竖直方向的位移。

本发明涉及一种多轴刚柔耦合运动平台，所述多轴刚柔耦合运动平台包括：三个单轴刚柔耦合运动平台，每个所述单轴刚柔耦合运动平台都包括：直线导轨、基座、核心运动平台、承载刚度增强柔性铰链组、运动平台刚性框架、直线导轨滑块、直线驱动器；所述第一单轴刚柔耦合运动平台的基座的一端与所述第二刚柔耦合运动平台的核心运动平台连接，所述第一单轴刚柔耦合运动平台的基座的另一端与所述第三单轴刚柔耦合运动平台的核心运动平台连接。该多轴刚柔耦合运动平台工作面积大，承载能力强，可以根据具体要求灵活地构建所需轴数的各种大行程高精度多轴运动平台。