一种电子薄膜材料的制备装置及其制备工艺

摘     要：本发明公开一种电子薄膜材料的制备装置及其制备工艺，该制备装置包括RF反应器、N2源、O2源、Ga源、Cu源、PC端和真空泵，该制备工艺包括以下步骤：S1、将基板清洗、吹干；S2、将基板固定，将沉积室内抽真空，然后充入N2至标准大气压；S3、在基板表面沉积Ga2O3薄膜；S4、在步骤S3沉积的Ga2O3薄膜表面沉积掺杂Cu的Ga2O3薄膜；S5、在步骤S4沉积的掺杂Cu的Ga2O3薄膜表面继续沉积Ga2O3薄膜，得到具有三层结构的薄膜；S6、薄膜取出退火。本发明制备装置可以促进前驱物通过电极的作用沉积在基板表面，提高前驱物沉积的速度及均匀程度，本发明制备工艺通过常压RF‑DBD等离子体辅助脉冲化学气相沉积，制备的电子薄膜致密性好，生长速率高，同时常温常压的工艺更加节省能源。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/11/25	授权
  2021/06/01	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 16/40 专利申请号: 202011613749.5 申请日: 2020.12.30
  2021/05/14	公开