发明专利已授权

一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩

📄 申请号：CN202010636922.7 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2020-07-04

申请人

刘永

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_00

IPC 分类号

B24B37_00 , B24B37_34 , B24B41_02 , B24B41_04 , B24B47_12 , B24B55_04 , B24B57_02 ,

技术画像

所属领域

化学机械抛光设备化学机械抛光设备半导体制造设备防溅防护装置

应用场景

半导体晶圆制造, 化学机械抛光, 集成电路制造, 晶圆平坦化

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摘要

本发明公开了一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩，上支撑架的上端面低于研磨平台的上端面；上支撑架的底面上成型有同轴设置的圆环状的挡水环；上支撑架的内圆柱面上成型有内螺纹；旋转支撑座的外圆柱面上成型有与上支撑架的内螺纹配合的外螺纹；旋转支撑座的内圆柱面下端成型有同轴设置的圆环状的下支撑环；下支撑环上固定有防溅罩；防溅罩由上部的缩口部和下部的上窄下宽的漏斗状的下阻挡部组成；下阻挡部的上端开口的内径与缩口部的内径相同；缩口部的内径大于研磨平台的直径。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210903

✅ 授权

20210817

⏳ 专利申请权的转移：

20201124

?? 实质审查的生效：

20201106

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：7 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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