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摘 要:本发明公开了一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩,上支撑架的上端面低于研磨平台的上端面;上支撑架的底面上成型有同轴设置的圆环状的挡水环;上支撑架的内圆柱面上成型有内螺纹;旋转支撑座的外圆柱面上成型有与上支撑架的内螺纹配合的外螺纹;旋转支撑座的内圆柱面下端成型有同轴设置的圆环状的下支撑环;下支撑环上固定有防溅罩;防溅罩由上部的缩口部和下部的上窄下宽的漏斗状的下阻挡部组成;下阻挡部的上端开口的内径与缩口部的内径相同;缩口部的内径大于研磨平台的直径。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010636922.7 | 专利名称: | 一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩 |
申请日: | 2020-07-04 | 申请/专利权人 | 林燕 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省台州市温岭市新河镇菜场东路29号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/00搜分类 机械制造搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |