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| 专利/申请号： | CN202010636922.7 | 专利名称： | 一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩 |
| 申请日： | 2020-07-04 | 申请/专利权人 | 林燕 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省台州市温岭市新河镇菜场东路29号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B37/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 9 | 所属领域： | 机械制造专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆抛光过程中防止研磨液飞溅污染环境及设备;集成电路制造产线的CMP工序自动化改造;高洁净度要求的纳米级芯片加工场景
摘 要：本发明公开了一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩，上支撑架的上端面低于研磨平台的上端面；上支撑架的底面上成型有同轴设置的圆环状的挡水环；上支撑架的内圆柱面上成型有内螺纹；旋转支撑座的外圆柱面上成型有与上支撑架的内螺纹配合的外螺纹；旋转支撑座的内圆柱面下端成型有同轴设置的圆环状的下支撑环；下支撑环上固定有防溅罩；防溅罩由上部的缩口部和下部的上窄下宽的漏斗状的下阻挡部组成；下阻挡部的上端开口的内径与缩口部的内径相同；缩口部的内径大于研磨平台的直径。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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