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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202010636856.3 | 专利名称: | 一种间距可控的化学机械研磨头 |
申请日: | 2020-07-04 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/12分类检索 机械制造专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种间距可控的化学机械研磨头,研磨支撑座的底部升降设置有圆环状的研磨保持环;研磨保持环与压头同轴设置并且压头位于研磨保持环内;研磨保持环的内径大于圆晶的直径;限位底环与研磨保持环同轴设置;限位底环位于研磨保持环的下侧并且两者之间的间隙可调设置;限位底环的内径大于研磨垫的直径;研磨平台的上端面上成型有同轴设置的供限位底环插入的限位环槽;限位环槽内设置有用于限制限位底环的限位装置;限位底环相对于研磨平台旋转设置。本发明工作时,研磨保持环和研磨垫之间的间隙保持在一定的间距,这样限位底环不会被研磨垫磨损同时有利于研磨液和研磨产物排出,提高研磨质量。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |