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摘 要:本发明涉及真空镀膜涂层制备领域,具体涉及一种通过调制强流脉冲电弧制备ta‑C涂层的方法,包括以下步骤:(1)形成基础层:通过调制电磁驱动的电弧放电沉积金属层或金属与C和/或N的化合物,即为基础层;(2)形成ta‑C层:通过调制强流脉冲电弧形成无氢四面体非晶碳层的类金刚石涂层,即为ta‑C层。调制线圈与电弧离子镀阴极上的磁体相互作用,可有效驱动石墨靶材弧斑,从而实现石墨靶全靶面运动,提升靶材利用率;脉冲强流可改善靶面的瞬间磁场强度,提升弧斑运动速度,同时较小的稳弧电流及瞬间强流可有效减少大颗粒的产生,从而在基材表面制备高硬耐磨的高SP3含量的类金刚石涂层。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010737107.X | 专利名称: | 一种通过调制强流脉冲电弧制备ta-C涂层的方法 |
申请日: | 2020-07-28 | 申请/专利权人 | 温州职业技术学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/32搜分类 C 港口 电弧搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |