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摘 要:本发明属于表面涂层制备技术,具体涉及一种通过调制强流脉冲电弧制备氧化铝涂层的方法,包括以下步骤:功能层的形成,功能层为沉积氧化铝形成的单层或沉积氮氧化铝形成的单层或氮化物与氧化铝交替沉积的多层复合涂层;氧化铝或氮氧化铝为通过调制强流脉冲弧放电沉积形成;调制强流脉冲弧是采用直流基值电流叠加低频率大束流脉冲电流作为放电电源进行弧光放电。利用脉冲弧放电技术中的低基值电流来实现稳定的弧光放电,以及瞬间极大的峰值电流来避免靶面放电过程中的氧化层的堆积毒化,提高氧的离化率,充分形成氧化物涂层,使弧斑布满整个靶面,减少弧光放电过程中的大颗粒的产生,提高粒子的离化率,获得优质高性能的氧化铝涂层。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010736244.1 | 专利名称: | 一种通过调制强流脉冲电弧制备氧化铝涂层的方法 |
申请日: | 2020-07-28 | 申请/专利权人 | 温州职业技术学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/32搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |