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摘 要:本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域,公开了一种研磨装置,包括底座和支撑板,所述底座的顶部固定连接有机架,所述机架的顶部固定安装有推杆电机。本实用新型通过推杆电机、驱动电机、支撑板、连接杆、限位孔、固定板、拉力传感器、微处理器、保护罩和打磨片的设置,启动推杆电机推动打磨片与半导体芯片表面接触,从而连接杆向上移动拉动拉力传感器,从而拉力传感器的拉力是打磨片与半导体芯片接触的压力,从而能够精准的控制打磨片与半导体芯片接触的合适压力,进一步的能够提高半导体芯片打磨的效果,在打磨的同时,保护罩罩在打磨的半导体芯片的外侧,从而避免灰尘对周围的半导体芯片造成污染损坏。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222151008.0 | 专利名称: | 一种研磨装置 |
申请日: | 2022-08-16 | 申请/专利权人 | 杭州千驷科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 浙江省杭州市萧山区新塘街道萧绍东路288-10号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/00搜分类 研磨装置搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/01/24 | 授权 |