实用新型已授权

一种研磨装置

📄 申请号：CN202222151008.0 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2022-08-16

申请人

浙江恒惠实业有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B37_00

IPC 分类号

B24B37_00 , B24B37_11 , B24B37_34 , B24B55_04 , B24B55_06 , B24B49_00 , B24B47_12 , B24B55_12 ,

技术画像

所属领域

研磨装置研磨设备机械加工设备表面处理研磨装置

应用场景

工业研磨, 精密加工, 表面处理, 机械制造

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摘要

本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，公开了一种研磨装置，包括底座和支撑板，所述底座的顶部固定连接有机架，所述机架的顶部固定安装有推杆电机。本实用新型通过推杆电机、驱动电机、支撑板、连接杆、限位孔、固定板、拉力传感器、微处理器、保护罩和打磨片的设置，启动推杆电机推动打磨片与半导体芯片表面接触，从而连接杆向上移动拉动拉力传感器，从而拉力传感器的拉力是打磨片与半导体芯片接触的压力，从而能够精准的控制打磨片与半导体芯片接触的合适压力，进一步的能够提高半导体芯片打磨的效果，在打磨的同时，保护罩罩在打磨的半导体芯片的外侧，从而避免灰尘对周围的半导体芯片造成污染损坏。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250218

?? 专利权的转移：

20230124

✅ 授权

一种具有工件碎屑清理功能的精密机床

当前第 / 件

一种钥匙

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：77 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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