发明专利 已授权

非接触式微型压电驱动器及驱动方法

📄 申请号:CN202310991018.1 📄 发布日:2026/10/28

著录项目信息

申请日
2023-08-08
公开号
CN117013876B
公开日
2026-09-08
申请人
淮安大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密定位, 微纳操作, 半导体制造, 光学器件调整, 工业自动化

摘要

本发明提出了一种非接触式微型压电驱动器及驱动方法,该驱动器包括驱动部件、传动部件、底座部件。利用周期性锯齿波电压信号施加于压电堆后产生的伸缩微形变经位移放大元件放大后驱动活塞往复运动,周期性改变活塞、压缩气筒座和上轴承座组成的密闭容腔体积,引起腔内气体周期性压力变化,该气体驱动传动部件运动,实现动力的非接触式传动。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN117013876B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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