发明专利 已授权

基于光学检测的Mini LED晶圆外观缺陷检测方法(LED屏、显示屏、显示芯片、半导体、晶圆制造、背光模组、显示面板、光学检测)

📄 申请号:CN202211213916.6 📄 发布日:2026/09/01

著录项目信息

申请日
2022-09-30
公开号
CN115290663B
公开日
2022-12-30
申请人
南通艾美瑞智能制造有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体晶圆检测, Mini LED制造, 显示面板检测, 工业自动化, 质量控制

摘要

本发明涉及缺陷检测技术领域,具体涉及一种基于光学检测的Mini LED晶圆外观缺陷检测方法,用于测试瑕疵、缺陷或污点的存在,其中该方法基于晶粒的矩形特征将晶圆进行晶粒区域和非晶粒区域的划分,基于纹理信息和灰度分布检测晶粒区域和非晶粒区域中的缺陷区域,根据缺陷区域中所检测到的直线数量优化霍夫直线检测的阈值,以检测到有效直线,减少冗余直线信息,进而根据有效直线的位置和晶圆圆心位置确认每个缺陷区域的缺陷类型,使得自动检测在快速简单的前提下,保证了缺陷类型的检测准确性。

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这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN115290663B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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