发明专利已授权

基于光学检测的Mini LED晶圆外观缺陷检测方法

📄 申请号：CN202211213916.6 📄 发布日：2026/08/28

著录项目信息

申请日

2022-09-30

公开号

CN115290663B

公开日

2022-12-30

申请人

南通艾美瑞智能制造有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_88

IPC 分类号

G01N21_88 , G06T7_00 , G06T7_13 ,

技术画像

所属领域

光学检测光学检测机器视觉缺陷检测

应用场景

半导体晶圆检测, Mini LED制造, 显示面板检测, 工业自动化, 质量控制

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摘要

本发明涉及缺陷检测技术领域，具体涉及一种基于光学检测的Mini LED晶圆外观缺陷检测方法，用于测试瑕疵、缺陷或污点的存在，其中该方法基于晶粒的矩形特征将晶圆进行晶粒区域和非晶粒区域的划分，基于纹理信息和灰度分布检测晶粒区域和非晶粒区域中的缺陷区域，根据缺陷区域中所检测到的直线数量优化霍夫直线检测的阈值，以检测到有效直线，减少冗余直线信息，进而根据有效直线的位置和晶圆圆心位置确认每个缺陷区域的缺陷类型，使得自动检测在快速简单的前提下，保证了缺陷类型的检测准确性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种缠绕膜脱模机

当前第 / 件

一种单臂提升设备

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G01N21_00 G01N21_01 G01N21_03 G01N21_07 G01N21_15 G01N21_17 G01N21_19 G01N21_21 G01N21_23 G01N21_25 G01N21_27 G01N21_29 G01N21_31 G01N21_33 G01N21_35 G01N21_3504 G01N21_3518 G01N21_3554 G01N21_3563 G01N21_3577 G01N21_3581 G01N21_3586 G01N21_359 G01N21_39 G01N21_41 G01N21_45 G01N21_47 G01N21_49 G01N21_53 G01N21_55 G01N21_552 G01N21_57 G01N21_59 G01N21_61 G01N21_63 G01N21_64 G01N21_65 G01N21_67 G01N21_69 G01N21_70 G01N21_71 G01N21_73 G01N21_75 G01N21_76 G01N21_77 G01N21_78 G01N21_79 G01N21_80 G01N21_81 G01N21_82 G01N21_84 G01N21_85 G01N21_86 G01N21_87 G01N21_88 G01N21_89 G01N21_892 G01N21_896 G01N21_898 G01N21_90 G01N21_91 G01N21_94 G01N21_95 G01N21_952 G01N21_954 G01N21_956 G01N21_958 覆盖67个领域

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